第615章 第1步

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陈意依托蜂巢式立体镜片组首先研究的项目就是激光武器。

和军方某激光武器单位合作之后，没过多久就研究出了相关的成品，但各种测试仍然还在进行中。

相关产品出世的时间太短了，按照的规矩，那是必须得在各种环境下都测试一遍搜集相关数据之后再看怎么样，毕竟有些问题在短时间内是看不出来的，必须要进行长时间全方位的测试。

不过前几天在幽灵党那群人身上使用的一线实战数据，倒是让军方那边如获至宝，根据相关数据反馈之后项目组又开始新的改进了。

激光武器陈意是不用多操心了，他现在又把重心放到极紫外光光刻机的光源系统上了，虽然极紫外光刻机这个名词在这个年代都还没有出生。。。

但是蜂巢式立体镜片组研发成功之后，不止极紫外光源系统的研发就从炼狱难度降到困难难度了，连带着反射投影系统前半段也被降到了普通难度。

眼前的光源以及反射投影系统在陈意一阵操作之后便开始运作了，陈意透过特制的滤光眼镜就看到一束功率二十千瓦的红光射入摄向梯形晶体下底面。

一根插入下底面中空部分的微型喷管喷射出一连串高速运动的液态锡滴，直径只有20微米，肉眼看上去就像是连续的一条水线，其实每一滴液体之间都有微小的间距，这个频率与激光照射的频率一样，每秒钟五万次。

必须得保证每次激光聚焦时恰好打在锡滴表面，使其瞬间气化、电离产生出等离子体，辐射出波长只有13.5n的极紫外光。

极紫外激光无法在普通物质中产生和放大，只能在“特殊物质”中产生，这个“特殊物质”就是脱离原子核而单独存在的自由状态的电子。

所以必须得费这么大的周折，先制造一个真空的环境，然后再设计一个超高精度的激光照射及靶材喷射系统，此时才能得到一束寿命极短的极紫外光。

但这仅仅是第一步罢了，接下来锡滴气化辐射出的极紫外光传播进入了蜂巢式立体镜片组内部，经过无数个镜头折射、反射等一系列的控制之后，最后才真正得到曝光所需的光源。

嗯，这只是极紫外光刻机研发万里长征第一步，接下来的步骤如果用接地气的说法也就是不那么专业的话语来描述的话就是：

极紫外光照射在设计出来的集成电路图上，然后把电路图给缩小到一个天文数字的倍数之下再塞到面积差不多只有指甲盖大小的晶圆上。

而简单的一句话却是需要十几个系统、几万个高精密零部件以及几百个执行器、传感器，在工程技术人员的精确控制之下将整个设备给集成起来，期间不能有一丝误差。

陈意看着一束紫光从梯形晶体上底面射出，照射在特殊的测试板上，整台机器就这么开始不间断的运作起来了。

他又观察了一会儿数据反馈之后暂时没发现什么问题，就离开了这间房，相关数据的收集会由轩辕狗蛋来完成，现在光源已经制作出来了，要解决的问题是该怎么让整个光源系统长时间的稳定下来。

这个地下研究所一共有二十几个无尘车间正在做着同样的事情，既然用电成本可以忽略不计那就大力出奇迹。

这也是黄钻被研发出来的红利之一，要不内地那群大佬为啥要把蓝星的黄金期货市场给搞得一地鸡毛呢？

华尔街那群人可能会赚，但内地却永远不亏。

。。。

半个月很快就过去了，时间已经来到了一九九五年七月四号。

这半个月中，深紫外光源系统出现了一系列的毛病，譬如锡靶材投射不稳定、激光发射器震动过大、蜂巢式立体镜片组对焦不准等一系列问题，短时间内运作还好，可一旦整个系统运作时间超过一天就会出现很多毛病。

虽然都是一些小毛病，误差可能也就小数点后六位加减一左右，但这却大大的影响到了整个系统的稳定运行，要是用于实际生产，随便一个小误差都会让一次流片作废，几百万几千万会打了水票，这是大家所不能容忍的。